EU-Förderprojekt 14ACMOS: PI an Entwicklung des nächsten Technologieknotens für die Halbleiterherstellung beteiligt

Aktuell entsprechen mit der 3-nm-Technologie produzierte High-End-Mikrochips dem Stand der Technik. Bereits im nächsten Jahr sollen Fertigungstechnologien für den 2-nm-Technologieknoten zur Verfügung stehen und bis 2027 für 1,4 Nanometer, also 14 Angström. 

Um dieses Ziel zu erreichen, fördert die Europäische Union mit dem Projekt 14ACMOS die Entwicklung dieses nächsten Technologieknotens für die Halbleiterherstellung. Dieses von der EU kofinanzierte, mit 95 Millionen Euro dotierte Forschungsprogramm wird auch vom „Gemeinsamen Unternehmen für Chips (Chips JU)“ unterstützt. PI beteiligt sich an dem Forschungsprogramm mit der Entwicklung hochpräziser Positioniersysteme mit Genauigkeiten von unter einem Millionstel Millimeter. Koordiniert wird das Projekt von ASML, dem niederländischen Weltmarktführer für Lithografiesysteme zur Halbleiterherstellung. Insgesamt sind 25 Partner aus sechs Ländern beteiligt.

Die im Rahmen des Projektes 14ACMOS zu entwickelnden Positioniersysteme müssen auch unter Vakuumbedingungen präzise und hochdynamisch funktionieren, damit sie wirtschaftlich einsetzbar sind. PI ist seit Jahrzehnten Systempartner für die Halbleiterindustrie und mit Positioniersystemen in zahlreichen Bereichen der Halbleiterfertigung weltweit vertreten. Die Produkte kommen heute schon in der Lithografie und der Metrologie für die Qualitätskontrolle zum Einsatz.

Der Projektname 14ACMOS bezeichnet CMOS Halbleiterbauelemente (Complementary metal-oxide-semiconductor) mit Strukturbreiten von 14 Angström. Angström wird als Maß zur Beschreibung von Atomabständen genutzt. Ein Angström entspricht einem zehnmillionsten Millimeter oder 0,1 Nanometern (nm). Zum Vergleich: Ein menschliches Haar ist rund 80.000 Nanometer dick.

Weitere Informationen zu diesem Projekt können Sie diesem Beitrag der offiziellen Seite der EU zu Forschungs- und Entwicklungsprojekten entnehmen.

Ansprechpersonen:

• Mathias Winter, Head of Piezo Drives & Systems Technology
• Dr. Christian Rudolf, Director Technology Center Drives & Systems