Am PI Stand auf der Semicon Taiwan 2024 wurde ein Technologie-Demonstrator für einen hochpräzisen, dynamischen piezoelektrischen Wafertisch für Inspektion und Metrologie vorgestellt. Bei Einsatz in Kombination mit Hochgeschwindigkeits-Piezoaktoren und schnell reagierenden Fokusscannern für die Oberflächenmesstechnik kann PI anspruchsvolle Prozessanforderungen erfüllen, bei denen herkömmliche elektromagnetische Lösungen an ihre Grenzen stoßen.
Erstellt von Martina Brkic am 27. September 2024